Graphene Contact Resistance 최근 동향

1. 선행 조사

 

 

2. 연도별 추이

 

 

3. 결론

 

• 15년간 graphene contact resistance는 점차 감소하는 추세를 보여왔으며, 근 5년간 급속도로 감소하는 경향을 보였다.
• 10여 년 전에는 단순히 top contact에서 metal에만 변화를 주었었다면, 최근에는 bottom, edge, vdW contact과 같은 다양한 contact 방식과 lamination, graphene doping, polymer-free method나 UVO treatment 같은 수많은 방법들이 연구되고 있다.
• 종합적으로 고려하면, contact resistance의 감소는 다양한 method가 발견되면서 많은 연구결과가 축적된 결과라고 보이며, conventional FET의 Silicon/Silicide의 contact resistance가 100 언저리임을 감안하였을 때 그 이내로 충분히 들어왔음을 알 수 있었다.

 

4. 느낀점

 

• 정확히 graphene과 metal 간의 contact resistance에 대해 다루는 논문은 예상보다 극히 적었고, 모든 논문의 서론이 서로 겹칠 정도로 연구 결과를 공유하고 있었다.
• Metal의 종류에 따른 graphene과의 contact resistance를 비교하고 싶어 다른 변인들은 통제한 연구들을 찾아보았었지만 곧 무의미하다는 사실을 깨달았다.
• 대부분의 논문들이 단순히 metal만 바꾸어 실험하지 않고 선행 논문들이 발표한 더 좋은 방법이 있다면 그에 착안하여 전체적으로 더 나은 method를 제시하는 경향이 있었기 때문이다. (즉, metal뿐만이 아닌 process, treatment, contact의 방식 등에도 변화를 주는 경우가 많았다)
• 생각보다 논문에 오류가 많다. (기호, 인용논문 표기 실수 및 서론 카피)